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納米電子器件呼喚真空化學研究
作 者: 李建昌 侯士敏 張兆祥 作者單位: 刊 名: 真空科學與技術(shù)學報 ISTIC EI PKU 英文刊名: VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY 年,卷(期): 1999 19(6) 分類號: 關(guān)鍵詞:【納米電子器件呼喚真空化學研究】相關(guān)文章:
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