微機械陀螺儀的微結構分析與設計

針對基于微米技術的微機械陀螺檢測功能微弱的現(xiàn)象,本文建立了振動輪式微機械陀螺儀的機電系統(tǒng)動力學模型.經(jīng)對某微陀螺結構的仿真計算發(fā)現(xiàn),哥氏阻尼力隨激勵哥氏力增大而增大,造成電容檢測信號極為微弱,無論激勵的幅度和頻率如何.為此,本文給出了一種新型振動輪式微陀螺結構,可減小哥氏阻尼力,相對增大了激勵哥氏力.這種新型結構顯著增強了電容檢測信號,而且具有雙軸微陀螺功能、對耦合線加速度不敏感等特點.

作 者： 賈建援 王志榮 馮小平   作者單位： 賈建援,王志榮(西安電子科技大學機電工程學院)

馮小平(西安電子科技大學電子工程學院) 

刊 名： 儀器儀表學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT  年，卷(期)： 2001 22(5)  分類號： V24  關鍵詞： 微機械陀螺儀   微電子機械系統(tǒng)   微慣量測量組合   機電系統(tǒng)動力學   微結構設計  

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