衍射頻譜法測光柵膜層厚度

根據傅立葉光學理論從光柵的衍射頻譜中可以反推光柵本身的多種信息,包括其形貌特征.利用矩形相位光柵的傅立葉變換,推導出零級和一級衍射光強和矩形相位光柵膜層厚度之間的函數關系,據此可在測得零級和一級次光強后,推算出光柵膜層厚度.以臺階儀作為標準,該方法的測量誤差在4%以內.

作 者： 李何立 文學金 曹向群 林斌   作者單位： 光學儀器國家重點實驗室,國家光學儀器工程中心,浙江大學,浙江,杭州,310027  刊 名： 光電工程  ISTIC PKU 英文刊名： OPTO-ELECTRONIC ENGINEERING  年，卷(期)： 2004 31(5)  分類號： O438.2 O484.5  關鍵詞： 膜厚測量   相位光柵   傅立葉光學   衍射頻譜  

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