p型透明導電氧化物CuAlO2薄膜的研究進展

透明導電氧化物(TCO)的出現(xiàn)開拓了光電子器件研究的新領域.但p型TCO的相對匱乏嚴重制約了透明氧化物半導體(TOS)相關器件的開發(fā)與應用.CuAlO2作為一種天然的p型TCO成為近年來p型TCO的研究熱點.介紹了p型TCO的研究現(xiàn)狀,綜述了不同制備方法制備p型CuAlO2薄膜的研究進展,以及在器件方面的應用,并對其前景進行了展望.

作 者： 李軍 蘭偉 張銘 董國波 嚴輝 LI Jun LAN Wei ZHANG Ming DONG Guobo YAN Hui   作者單位： 北京工業(yè)大學材料學院薄膜實驗室,北京,100022  刊 名： 材料導報  ISTIC PKU 英文刊名： MATERIALS REVIEW  年，卷(期)： 2007 21(3)  分類號： O6  關鍵詞： 透明導電氧化物(TCO)   p型TCO   CuAlO2薄膜  

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