真空發(fā)生器系統(tǒng)吸附響應(yīng)時間的確定

真空發(fā)生器是一種重要的真空發(fā)生裝置,廣泛地應(yīng)用于自動化生成領(lǐng)域.本文的目的是確定真空發(fā)生器系統(tǒng)的吸附響應(yīng)時間以實現(xiàn)過程的精密控制.文中根據(jù)瞬變流理論和真空發(fā)生器的流量特性,建立了用于計算真空發(fā)生器吸附系統(tǒng)真空度時間變化以及吸附響應(yīng)時間的數(shù)學(xué)模型,利用特征線方法進(jìn)行了數(shù)值求解,數(shù)值模擬結(jié)果與實驗值吻合得相當(dāng)好,從而證明了所建立的真空發(fā)生器系統(tǒng)吸附響應(yīng)時間模型的正確性.

作 者： 姚朝暉 何楓 陳遠(yuǎn)   作者單位： 清華大學(xué)工程力學(xué)系,北京,100084  刊 名： 真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2002 22(3)  分類號： O35.10  關(guān)鍵詞： 真空發(fā)生器   流量特性   吸附響應(yīng)時間   特征線法  

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